《真空鍍膜》PPT課件.ppt

)10760(1010 35 Torrpa )1010(1010 313 Torrpa )1010(1010 8361 Torrpa )1010(1010 128106 Torrpa )10(10 1210 Torrpa 三、薄膜材料的制備 薄膜制備方法有很多種,如液相制備方法、電化學(xué)制備方法等，直接制備薄膜以氣相沉積為主.包括： 化學(xué)氣相沉積（ CVD) 借助空間氣相化學(xué)反應(yīng)在襯底表面上沉積固態(tài)薄膜。 物理氣相沉積（ PVD) 用物理方法(如電弧、高頻或等離子等高溫?zé)嵩矗⒃次镔|(zhì)轉(zhuǎn)移到氣相中，在襯底表面上沉積固態(tài)薄膜。包括真空蒸發(fā)、真空濺射等。 4 2 真空系統(tǒng)(DM300鍍膜機(jī)) 蒸發(fā)源材料和鍍膜材料的選擇搭配原則（1） 蒸發(fā)源有良好的熱穩(wěn)定性，化學(xué)性質(zhì)不活潑，達(dá)到蒸發(fā)溫度時(shí)加熱器本身的蒸汽壓要足夠低。（2） 蒸發(fā)源的熔點(diǎn)要高于被蒸發(fā)物的蒸發(fā)溫度。加熱器要有足夠大的熱容量。（3） 蒸發(fā)物質(zhì)和蒸發(fā)源材料的互熔性必須很差，不易形成合金。（4） 要求線(xiàn)圈狀蒸發(fā)源所用材料能與蒸發(fā)材料有良好的浸潤(rùn)，有較大的表面張力。（5） 對(duì)于不易制成絲狀、或蒸發(fā)材料與絲狀蒸發(fā)源的表面張力較小時(shí)，可采用舟狀蒸發(fā)源。 五、薄膜厚度的計(jì)算：在真空中氣體分子的平均自由程為：L = 0.65 / p (cm)，其中p的單位是Pa。當(dāng)p = 1.310-3Pa時(shí)，L500 cm。L基片到蒸發(fā)源的距離，分子作直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)。右圖為蒸發(fā)源與任意接收面之間的幾何關(guān)系。 dmdm 4 dsrmdm 2cos4 dstdm . 24cosrmt 24cosrmt ,cos rh 222 hr 2/322 )(4 hmht 20 14 hmt 0 2t 待測(cè)薄膜基片nmm 53053.0 Amt 謝謝