傳感器原理-速度傳感器(磁電霍爾).ppt

速度測量概述,1、轉速測量中主要考慮的問題,1）被測物體運動的速度范圍,超低速(0.102.00r/min)低速(0.5500r/min)中高速(2020000r/min)高速(500200000r/min)超高速(500600000r/min)全速(0.10600000r/min),適用的測速傳感器較多,2）被測物體可測點幾何形狀,例：光軸、齒輪、葉片、帶孔、帶槽、帶銷、微型電機,3）環(huán)境條件,4）動態(tài)/靜態(tài)時的顯示、記錄、控制,5）誤差、響應時間、輸出控制形式,2、轉速測量的分類及實現(xiàn)方案,根據傳感器安裝方式：1接觸式2非接觸式,根據傳感器不同：1磁電2光電3霍爾4磁敏,3、轉速測量電路,1）轉速測量儀的基本組成：,2）轉速測量基本方法,定數(shù)采樣：這種方法其實是測量單個脈沖的周期或指定個數(shù)脈沖的總周期。這種測量脈沖的方法又叫做測周法。定時采樣。這種方法其實是測量單位時間的脈沖個數(shù)。這種測量脈沖的方法又叫做測頻法。,頻率電壓轉換(f/V),頻率轉速N=f/分頻數(shù),4、轉速傳感器的選擇原則,測量環(huán)境價格測量范圍可靠性系統(tǒng)功耗,單位r/minr/s,一、霍爾效應和霍爾元件的工作原理,在半導體薄片中通以電流I,在與薄片垂直方向加磁場B，則在半導體薄片的另外兩端，產生一個大小與控制電流I和B乘積成正比的電動勢，這種現(xiàn)象稱為霍爾效應。該電勢稱為霍爾電勢，該薄片稱為霍爾元件。,1、霍爾效應,2、霍爾電勢,UHKHIB,單位磁感應強度和單位控制電流作用時，所能輸出的霍爾電勢的大小。單位是mV/（mAT）,意義：與材料的物理性質和幾何尺寸有關，決定霍爾電勢的強弱。,若磁感應強度B的方向與霍爾元件的平面法線夾角為時，霍耳電勢應為：,VHKHIBcos,霍耳器件薄膜化是提高靈敏度的一個途徑。,霍爾電壓UH為：,式中n半導體單位體積中的載流子數(shù),e電子電量,KH霍爾元件靈敏度，KH1/ned,霍爾器件符號,C、D：霍耳輸出端，稱為霍爾端或輸出端。,A、B：電極端，稱為元件電流端、控制電流端或輸入電流端。,紅色導線,紅色導線,綠色導線,綠色導線,一般為4mm2mm0.1mm,二材料及結構特點,霍爾元件一般采用具有N型的鍺、銻化銦和砷化銦等半導體單晶材料制成。,1.銻化銦元件的輸出較大，但受溫度的影響也較大。,2.鍺元件的輸出雖小，但它的溫度性能和線性度卻比較好。,3.砷化銦元件的輸出信號沒有銻化銦元件大，但是受溫度的影響卻比銻化銦的要小，而且線性度也較好。,采用砷化銦為霍爾元件的材料得到普遍應用。,特點,小結,材料：鍺、硅、砷化鎵、砷化銦、銻化銦,靈敏度低、溫度特性及線性度好,靈敏度最高、受溫度影響大,霍爾元件的主要特性參數(shù)：,(1)輸入電阻和輸出電阻輸入電阻：控制電極間的電阻輸出電阻：霍爾電極之間的電阻(2)額定控制電流和最大允許控制電流額定控制電流：當霍爾元件有控制電流使其本身在空氣中產生10溫升時，對應的控制電流值最大允許控制電流：以元件允許的最大溫升限制所對應的控制電流值,(3)不等位電勢Uo和不等位電阻ro,不等位電勢：當霍爾元件的控制電流為額定值時，若元件所處位置的磁感應強度為零，測得的空載霍爾電勢。不等位電勢是由霍爾電極2和之間的電阻決定的，r0稱不等位電阻,霍爾元件的主要技術指標,四、霍爾元件連接方式和輸出電路,特點：,（1）測量磁物理量、電量及其它物理量（2）實現(xiàn)乘法運算，構成各種非線性運算部件（3）輸出信號的信噪比大（4）頻率范圍寬：直流數(shù)百千赫茲（5）體積小、重量輕（6）穩(wěn)定性好、壽命長,2、霍爾元件連接方式,控制電流端并聯(lián)輸出電勢為：2倍,控制電流端串聯(lián)次級繞阻疊加輸出,3、霍爾電勢的輸出電路,四端器件輸出電勢：mV量級,五、霍爾元件的測量誤差及補償方法,1、零位誤差及補償,電橋補償原理：在阻值較大的橋臂上并聯(lián)電阻,六、霍爾開關集成傳感器,集成霍爾元件,和開關型兩大類,可分為線性型,1、結構及工作原理,材料：硅工藝：硅平面工藝,提高靈敏度,N型硅外延層很薄集成工藝,工作原理：,有磁場：VH，放大，整形：>開啟閾值，高電平VT導通，具有吸收電流的負載能力,磁場減弱：VH減小，放大，整形：<關閉閾值，翻轉，低電平，VT截止,開狀態(tài),關狀態(tài),2、工作特性,3、接口電路,4、磁場施加方式,（3）采用磁力集中器增加傳感器的磁感應強度,六、霍爾線性集成傳感器,1、結構及工作原理,輸出電壓與外加磁場強度呈線性比例關系,構成：霍爾元件、放大器、穩(wěn)壓、電流放大輸出級、失調調整、線性度調整,2、主要技術特性,霍爾線性集成傳感器的技術參數(shù),七、霍爾傳感器的應用,1、霍爾位移傳感器,磁場梯度越大，靈敏度越高磁場梯度越均勻，輸出線性越好,測量范圍：12mm,2、磁感應強度測量儀,3、直流功率測量儀,4、轉速測量,5、測量電流,測量大直流電流（10kA）：電阻器分流,霍爾元件測量電流：檢測通電導線周圍的磁場,簡單、測量精度差、受外界干擾大,環(huán)形鐵芯集中磁力線，提高電流測量精度,6、測量表面覆蓋層厚度,7、自動憑票供水裝置,霍爾式傳感器的應用實例,霍爾轉速測量,霍爾特斯拉計（高斯計）,霍爾元件,霍爾角位移測量,霍爾鉗形電流表的使用,叉形鉗形表漏磁稍大，但使用方便,用鉗形表測量電動機的相電流,實驗探究1,若閉合電路中有感應電流,電路中就一定有電動勢.演示實驗并播放動畫畫出等效電路圖,實驗探究2：在向線圈中插入條形磁鐵的實驗中，磁鐵的磁場越強、插入的速度越快，產生的感應電流就越大。,實驗:電磁感應插磁鐵,實驗探究3:,一、磁電感應式傳感器工作原理,B：穩(wěn)恒均勻磁場磁感應強度；L：導體有效長度；V：導體相對磁場運動速度。,導體在穩(wěn)恒均勻磁場中運動,N匝線圈處于變化的磁場中,兩種磁電式傳感器結構：變磁通式和恒磁通式。,開磁路變磁通式：結構簡單，但輸出信號較小，且因高速軸上加裝齒輪較危險而不宜測量高轉速的場合。,1、變磁通式,閉磁路變磁通式：感應電勢的頻率與被測轉速成正比。,2、恒定磁通式,2、恒定磁通式,B0：工作氣隙磁感應強度；l：每匝線圈平均長度；N：線圈在工作氣隙磁場中的匝數(shù)；v：相對運動速度。,二、磁電感應式傳感器基本特性,Rf：測量電路輸入電阻；R：線圈等效電阻。,傳感器的電流靈敏度為,輸出電壓和電壓靈敏度分別為,為了保證傳感器輸出的線性度，要保證線圈始終在均勻磁場內運動。,提高靈敏度方法：選用具有磁能積較大的永久磁鐵；盡量小的氣隙長度，以提高氣隙磁通密度B；增加和N，但它們受到體積和重量、內電阻及工作頻率等因素的限制。,三、磁電感應式傳感器的測量電路,磁電式傳感器直接輸出感應電動勢，且傳感器通常具有較高的靈敏度，不需要高增益放大器。但磁電式傳感器是速度傳感器，若要獲取被測位移或加速度信號，則需要配用積分或微分電路。,四、磁電感應式傳感器的應用動圈式振動速度傳感器,1、芯軸2、外殼3、彈簧片4、鋁支架5、永久磁鐵6、線圈7、阻尼環(huán)8、引線,